在當今數字化時代，半導體作為微芯片的主要組成部分，已成為工業發展中不可或缺的關鍵要素。隨著技術的發展和市場需求的迅速增長，半導體的性能要求也在日益提升，對制造工藝的精度和復雜性提出了更高的挑戰。

在此背景下，巴魯夫憑借其在傳感器與自動化領域的深厚積累，為半導體行業帶來創新的解決方案。

BES電感式傳感器

巴魯夫BES電感式傳感器以其卓越的性能和可靠性，在半導體生產的各個環節中發揮著至關重要的作用。無論是在載具傳送、晶圓傳送還是晶圓加工過程中，都能提供精確的監控，確保生產過程的連續性和穩定性，并降低維護和存儲成本。

特別是在閥門監控方面，巴魯夫開發了能夠承受高壓和高溫環境的電感式傳感器，非常適合集成到ALD閥門中。

下面我們為您介紹巴魯夫BES電感式傳感器在各個環節中的具體應用。

載具傳送 檢測AMHS終端位置

巴魯夫為您監測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據您的需求，我們提供電感式、電容式或光電式傳感器，讓您能夠確認AMHS位置是否正確，您的載具是否精確定位在裝載架上，確保載具傳送過程的穩定可靠。

特點

1、非接觸式，即無磨損

2、具有技術多樣性，能夠高效應對各種需求

晶圓傳送 檢測末端執行器上的晶圓位置

巴魯夫電感式傳感器不僅能讓您確定末端執行器上是否存在晶圓，同時檢測晶圓的確切位置。這些傳感器具備短路保護功能，允許緊密相鄰安裝，以實現多點位置檢測。其緊湊的外形設計，使得它們能夠輕松地集成到末端執行器上，具有更高的靈活性。

特點

1、可靠的電纜斷裂和短路自診斷

2、外形規格多樣，滿足具體應用需求

3、能夠集成到末端執行器上

晶圓加工 可靠地控制流量閥

在晶圓加工環節，當進入工藝室的介質正常流動是由閥門控制時，閥門的可靠運作至關重要。巴魯夫的電感式傳感器以其卓越的堅固性和緊湊設計，能夠無縫集成到閥門系統中，確保閥門操作的精確性和連續性，從而保障整個晶圓加工過程的穩定性和效率。

特點

1、外形小巧，易于集成

2、安裝完成后，傳感器后端的LED可提供可視信息

3、無需外部放大器

半導體自動化就選巴魯夫

巴魯夫提供多樣化的電感式傳感器以滿足不同應用和行業需求。巴魯夫的產品包括標準型、耐高壓型和防磁型等，采用多種外殼材料和密封技術，確保適配性。提供多種外殼直徑和螺紋尺寸，便于集成，即使在空間受限的場合也能提供高效解決方案。

在半導體制造領域，巴魯夫的產品不僅滿足多樣化的工業需求，還特別針對半導體生產環境進行定制，確保高精度和可靠性。通過巴魯夫先進的傳感器技術，助力您的生產流程實現自動化和智能化，提高效率并降低成本，讓您在激烈的市場競爭中取得優勢。

（來源：巴魯夫）