時隔兩年，半導體行業盛會——SEMICON China 2023于6月29日-7月1日在上海新國際博覽中心盛大重啟。展會匯聚了半導體制造領域的設備、材料及自動化廠商，展示了半導體產業鏈的前沿技術和成果。

作為在自動化領域深耕90年的自動化專家，歐姆龍在半導體行業持續開拓，積累了豐富的行業經驗。為解決半導體行業課題，我們以AI、機器人、數字化等核心技術為基礎，提出全新進化、貼合市場需求的SEMI/FPD行業解決方案，在本屆SEMICON上與全球觀眾共享!

連續三天，歐姆龍展臺人潮涌動，高溫和暴雨也無法阻擋“半導體人”的熱情。新老朋友相聚展臺暢談，共同品鑒歐姆龍SEMI/FPD行業解決方案，在交流中碰撞出新的火花，展望合作共贏的未來。

SEMI/FPD行業解決方案

歐姆龍圍繞不斷進化的i-Automation!理念新型制造的3個方向，即“超越人的自動化”、“人機的高度協作”、“數字工程革新”，在SEMICON上展示超尖端的解決方案和SEMI/FPD制造行業的革新應用。

● 在“超越人的自動化”方面，我們以高速、高精度的控制應用技術為基盤，運用IoT、AI和機器人技術，將生產環節所涉及的各類作業、業務全部交由機器完成，讓全流程自動化成為現實。

溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用

熱處理工藝中溫度控制的好壞會對產品的質量和成品率產生很大的影響。以往的控制技術很難控制升溫過程中工件溫度的偏差。以半導體行業為例，存在著因溫度偏差導致成品率不穩定、多點溫度設置需要通過復雜的調節流程等課題。

歐姆龍自主開發的“工件溫度均一技術(已申請專利)”可將工件及其附近的溫度偏差降低70%以上(本公司數據)，提高產品品質。此外，溫度特征量自動生成技術，即使有數十個以上的加熱點，也能精確地調整溫度，無需人工干預。

「On the fly」多軸飛控技術在SEMI激光加工上的應用

智能手機和電動汽車的普及，對電子元件的需求與日俱增。激光加工是電子元件的生產工藝之一，傳統方法中，平臺移動和振鏡控制是順序執行的，即執行“分步重復”處理，重復操作的移動和停止降低了生產效率。

為提高高精度加工的速度，歐姆龍將所有設備的控制整合，在同一個控制器中實現連續激光加工。通過歐姆龍可編程多軸運動控制器(PMAC)高性能CPU進行集中控制，可確保多軸控制同步，同時通過頻譜反褶積法實現滿足執行器的指令分配。與傳統的“分步重復”相比，處理時間縮短了約35%，產能得到突破性的提升。

通過歐姆龍可編程多軸運動控制器，賦予平臺納米級的定位精度和控制性能，可實現高精密測量、高精密加工、微進等，助力實現超精密工字型運動，誤差≤0.2μm。例如，應用于晶圓AOI檢測，平臺需要實現高動態快速點定位、勻速下的極小速波動、高倍顯微鏡下Z軸高動態跟隨追焦等關鍵要求，通過歐姆龍可編程多軸運動控制器的超高速響應，PWM控制及歐姆龍自主研發的高度跟隨核心技術，提供了更精確的檢測效果，賦能晶圓激光隱切、AOI晶圓檢測。

不間斷高速檢查

在外觀檢測方面，以往的停頓檢查雖然位置精度高，但是拍攝速度慢;以往的連續拍攝速度提升了，但是位置精度過低。

歐姆龍的不間斷高速檢查技術，有效解決了檢查停頓的課題，提高生產性，畫像檢查節拍時間縮短70%。另一方面，該技術可以在保證拍攝速度的同時，準確拍攝到高速旋轉的二維碼并識別。

● “人機的高度協作”旨在兼顧員工工作成就感和工作效率，靈活運用歐姆龍高度融合的人員動作的傳感技術、機器人、安全設備，實現此前難以達到的人機無縫銜接。

移動操縱機器人應用(MoMA)

“移動操縱機器人應用(MoMA)”即在移動機器人上搭載協作機器人，兼具LD的移動敏捷性與臂式協作機器人的操作性的綜合解決方案。除了使用LD自動搬運物品之外，還能使用臂式協作機器人自動裝卸物品。MoMA可運用于晶圓盒搬運，改變人工搬運的方式，節省人力，加快效率，推動制造現場向更智能化和柔性化發展。

● “數字工程革新”為“超越人的自動化”、“人機的高度協作”提供支持，聚焦工程鏈中設計、啟動、維護環節的人工作業，用數字空間再現制造現場及設備，為業務流程的革新貢獻力量。

數字化預測性維護

控制柜內設備、接線數量不斷增加，使得檢測部位增多，而熟練保養人員卻在減少，無法實時對溫度進行測量。

應對設備事故引發的商業損失風險，無法實時監控設備老化、異常，熟練保全員的缺乏等課題，歐姆龍將工匠技藝數字化，通過信息化元器件，實現不依賴熟練工的預兆保全，異常征兆0錯漏。

本屆SEMICON已落下帷幕，歐姆龍將堅持以AI、機器人、數字化等核心技術為基礎，為半導體行業提供數智化解決方案，為中國SEMI/FPD行業發展貢獻力量。

（歐姆龍供稿）