2023年6月，歐姆龍自動化(中國)有限公司新品【高性能溫控單元NX-HTC】正式發布。先進的溫控技術，滿足因半導體微型化和疊層化而日益嚴苛的溫控要求，助力日益復雜的制造業提升產品質量和生產效率。

為實現高度數字化的社會，半導體微型化、層疊化，溫度對產品質量的影響也隨之增大，導致對溫控的要求日益嚴苛：

● 維持現有占地面積的前提下，實現多點控制

● 必須提高溫控性能，減小溫控波動幅度，實現精密加工

● 快速檢測工件、設備、環境變化導致的溫度曲線的細微變化，發現缺陷，減少浪費

● 將日常干擾造成的溫度波動降到最低，最大限度提升產品質量和生產能力

【高性能溫控單元NX-HTC】通過節省空間和可視化特征量，助力滿足嚴苛的溫控要求，進而提高產品質量和生產效率。

產品優勢

① 節省約40%空間

課題：為了更準確地測量溫度，需要增加溫控點數，這會增加設備數量，難以維持現有占地面積

NX-HTC每臺單元支持8Ch控制*1。與使用兩臺傳統產品NX-TC 4Ch相比，在寬度方面節省了約40%的空間，提高了單位面積的生產能力。

*1. 標準控制情況下

NX-HTC搭配小型連接器端子臺XW2K和專用電纜，進一步節省空間，減少柜內占用面積。

② 提升溫控性能，溫度分辨率可達0.01℃

課題：所需的加工精度日漸精密，為了提升生產質量，必須減小溫控波動幅度

NX-HTC在廣闊的溫度范圍內具備0.01°C的高分辨率，有助于在高溫條件下實現高精度溫控。

③ 特征量可視化功能

課題：

● 不可預測的外部干擾引發晶圓翹曲等工件變形現象和加熱器或傳感器錯位或老化等設備變化導致合格率降低

● 出現缺陷時，需要花時間調查發生異常的范圍和原因

NX-HTC的特征量可視化功能，可以將生產期間和溫度上升期間的溫度波形變化自動轉化為特征量。

通過監視特征量數據的趨勢，可以檢測工件、環境和設備的細微變化，量化管理設備狀態。由此及早發現設備狀態異常，助力減少缺陷產品，從而減少浪費。

④ 將日常干擾造成的溫度波動降到最低

課題：

● 溫控要求因半導體微型化和層疊化而日益嚴苛，常規外部干擾引起的溫度變化會影響品質

● 常規外部干擾導致的溫度變化需要等待一定時間才能達到穩定狀態，生產能力無法提升

NX-HTC/NX-TC自動抑制常規外部干擾導致的溫度變化，通過提升質量、縮短溫度達到穩定狀態所需的等待時間，助力提升生產能力。

外部干擾導致溫度變化示例

通過抑制溫度變化，溫度達到穩定狀態所需的等待時間與以往相比減少了最多80%。

NX-HTC/NX-TC外部干擾抑制功能，將溫度變化控制在最低限度。

外部干擾抑制功能是一項控制功能，能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化。可通過在外部干擾出現前向溫控器單元輸入信號啟動本功能以增減操作量。通過外部干擾自動調諧功能，自動調整FF(前饋)操作量、FF動作時間和FF等待時間。

歐姆龍高性能溫控單元NX-HTC，通過先進的溫控技術，助力日益復雜的制造業提升產品質量和生產效率!

（歐姆龍供稿）